新型低圧ＵＶ酸化装置(WOX系列）
在要求高水质的半导体、电子产业中，杀菌自不必说，有机物的分解除去也是不可缺少的。COX系列通过184.9nm的UV灯管直接分解TOC。支持低TOC化(ppt级别)。根据被装载的调光功能，实现节能·副生物的抑制等。
与以往型相比，新开发了大幅提高每根UV灯的输出功率和电子镇流器。进一步降低TOC值，设备规模也可以大幅紧凑化。也可用于并水和各排水中的有机氯化合物的分解。
特点： 1.提高UV LAMP185nm输出力 2.抑制UV LAMP照度劣化的要素
3.石英外管185nm透過率的改善、 4.使用流体解析来验证 5.WOX酸化分解的効率改善 6.有关新型電子安定器的開発 7.CO2排出量、LAMP廃棄物的低減化 |  
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规格参数：
| WOX20系列 | WOX34系列 | WOX40系列 |
| 型号 | 连接口径 | 消費電力 | 备注 | 型号 | 连接口径 | 消費電力 | 备注 | 型号 | 连接口径 | 消費電力 | 备注 |
| WOX20（20＊1） | 80A | 4.02ｋW |
| WOX34 (34*1) | 80A | 6.51ｋW |
| WOX40 （40＊1） | 80A | 7.55ｋW |
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| WOX40（20＊2） | 80A | 7.55ｋW |
| WOX68 (34*2) | 80A | 12.52ｋW |
| WOX80 （40＊2） | 80A | 14.61ｋW |
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| WOX60（20＊3） | 80A | 11.05ｋW |
| WOX102 (34*3) | 80A | 18.55ｋW |
| WOX120（40＊3） | 80A | 21.69ｋW |
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| WOX80（20＊4） | 80A | 14.61ｋW |
| WOX136 (34*4) | 80A | 24.48ｋW |
| WOX160（40＊4） | 80A | 28.66ｋW |
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1）设备标准耐压为0.69MPa。
2）电源规格为3相200V。
3）腔体材质为SUS316 ，电解抛光。*SUS316L价格会UP。
4）连接法兰规格为JIS10KFF。
5）连接口径为80A。
